2.2热式气体质量流量计

目前在CEMS系统中应用的热式质量流量计不多，下面以Sailsors品牌TF100为例说明。

（1）结构如图2所示。

探杆材质：316L、哈氏合金C-276、钛材、钽材等可选；

探头材质：316L、哈氏合金C-276、钛材、钽材等可选。

（2）原理

热式质量流量计是利用热传导原理检测流量的仪表，即用流动中的流体与热源之间热量交换关系来测量流量：表达式为：

P/ΔT=A+B（Q）m（2）

式中：A，B是与气体物理性质有关的常数。

从公式（2）可以看出：加热功率与热源的温度差的比值可以得出质量流量Q。在实际的应用中，我们把加热功率或温度差任意一个参数固定来测量流体的质量。前者为恒功率法；后者为恒温差法。

（3）特点

系统算法；计算机辅助制造技术；宽量程比；大口径，低流速；低压损；质量流量测量无须温压补偿；低流速测量非常灵敏。

（4）应用

在CEMS系统中，国外一般选用热式质量流量计。因为其高、安装方便、操作便利、抗腐蚀性强，是业界的仪表之一。

在国内，由于大家对热式质量流量计的认识不足，再加上价格因素的原因，造成了在CEMS系统中热式质量流量计的应用不普及。在众多系统集成商中，由于CEMS系统中介质成分比较恶劣，常有颗粒、灰尘、水分及腐蚀性成分，易在传感部位（热式流量计的探针部分，皮托管在静压、动压的部分）形成堵塞，造成测量的不准确，甚至是不能测量。大多数厂家（尤其是皮托管）都采用吹扫装置。厦门宏控公司利用在流量方面的优势，推出的针对CEMS系统的HKTMF系列热式质量流量计，不但具备了热式质量流量计的所有功能，而且也具备了除尘、除污的功能。